半导体 到底什么是掩膜板? 作者 半导体, 小白 半导体领域,掩膜板相当于老式相机拍照用到的“底片”,光刻就在这个“底片”上,将上面的图形准确地转移到下面的光刻胶上。(底片这玩意儿可能很多90后00后没有接触过)。 用于制作掩膜板的材料,主要由高品质的石英玻璃基板和在表面沉积的遮光材料构成,其中遮光材料通常用的是铬(Cr)。选择铬膜是因为它的沉积与刻蚀相对比较容易,而且对光线完全不透明。 那么掩膜板需要覆盖光刻胶的所有位置吗?其实[……] 继续阅读