全部相关文章 光刻胶

光刻胶的这些特性,你知道吗?

在前天我们的文章”到底什么是掩膜板?“中,说到掩膜板类似老式相机的”底片“,其实光刻领域还有类似于我们”相纸“的东西,即”光刻胶”。 光刻胶涂布在晶圆上,然后对其进行照射曝光,可以将底片上的图形”拓印”到”相纸”上。

光刻胶有一个比较正式的名字,叫光致抗蚀剂,英文Photoresist,简称P. R。所以在有些地方看到”抗蚀剂”也要知道它指的就是光刻胶。另外,根据它在光能量束照射下反应的不同[……]

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光刻胶图案如何‘复印’到芯片材料上”?

什么是刻蚀

在半导体制造的奇妙世界里,有一种技术如同一位隐形的英雄,默默地将光刻胶上的精细图案精准地转移到下层材料上,它就是刻蚀技术。这项技术,就像一位精湛的雕刻家,用物理或化学的“刻刀”,在硅片表面雕刻出千变万化的图形。

想象一下,光刻胶层上承载着设计好的电路图案,它们就像待雕刻的玉石,等待着刻蚀技术的精细加工。

图-未经刻蚀的衬底

而刻蚀技术,就是那位能够将这些图案[……]

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