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如何将VCSEL的光耦合到PIC晶圆平面内呢?

VCSEL 是光子集成电路 (PIC) 的理想光源。然而VCSEL 发射垂直于晶圆平面,而 PIC 位于晶圆平面内。因此如何将VCSEL的光耦合到PIC晶圆平面内呢?

目前,从VCSEL到平面内PIC的光耦合至少有 4 种方法。第一种最直接的方法是使用端到端耦合,将 VCSEL 放置在平面内波导的末端。构建光斑尺寸转换器以减少 VCSEL 和面内波导之间的耦合损耗。如下图所示是基于 SOI[……]

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